Laboratóriumvezető:

Volk János

Tel: +(36-1)-392 2233

E-mail: volk.janos@ek-cer.hu

Az intézet kutatási feladatainak megfelelően a 2018-ban még Mikrotechnológiai Laboratóriumként működő szervezeti egység szakmai alapon szerveződve kettévált, így 2019-ben közös központi infrastruktúra (tiszta tér) kezelése mellett elkezdte működését a Nanoérzékelők, valamint a Mikrorendszerek Laboratórium.

A Nanoérzékelők Laboratórium célja a nanotechnológia és anyagtudomány területén elért legfrissebb alapkutatási eredmények alkalmazása új típusú fizikai érzékelőkben, különös tekintettel a mikro- és nanoméretű elektromechanikai szenzorokra. Ehhez kapcsolódóan a Laboratórium egyaránt foglalkozik piezoelektromos anyagok kutatásával, félvezető alapú nanoérzékelőkkel, valamint alacsony fogyasztású, ill. önellátó szenzorrendszerek fejlesztésével.

Kutatásaikat több nemzetközi és hazai projekt keretében végzik, melyek számos egyéb tudományos együttműködéssel egészülnek ki. A hazai projektek közül a legjelentősebb a „Korszerű funkcionális anyagok hálózatba szervezhető autonóm érzékelőkhöz” elnevezésű program. A munkát három szálon párhuzamosan végeztük: i) MEMS technológiával kompatibilis piezoelektromos ötvözetek (ScAlN) kutatása (anyag); ii) fém alapú (hibrid) MEMS vibrációs energiagyűjtők, ill. frekvenciaszelektív gyorsulásmérő (eszköz); iii) drótnélküli szenzorok prototípus szintű fejlesztése (rendszer). A fejlesztett rendszerek különböző feladatokat látnak el és különböző RF kommunikációs protokollt használnak. A fejlesztett rendszerek között

A labor másik fő tevékenysége a nanoelektronikával kapcsolatos, melyet a kollégák a BME Fizika Tanszékével együttműködésében végeznek. Ezen belül az egyik a spintronikai eszközök kutatását tűzte ki célul a Nemzeti Kvantumtechnológiai Program keretében (HunQuTech, Csonka Szabolcs csoportjával), míg a másik esetben a cél nanoméretű memrisztív kapcsolók vizsgálata (OTKA, Halbritter András csoportjával). A HunQuTech programban a csoport szerepe a projektben, hogy biztosítsa a nanotechnológiai infrastruktúrát a konzorcium számára, ill. kielégítse a felmerülő mintapreparációs és eszközkészítési igényeket.

A laboratórium weboldala: www.nems.hu

Publikációink:

https://m2.mtmt.hu/gui2/?mode=search&query=publication;authorships.organizations.name;any;nano%C3%A9rz%C3%A9kel%C5%91k%20laborat%C3%B3rium;publishedYear;ge;2019

A laboratórium 2019 előtti publikációi Mikrotechnológia Laboratórium néven itt érhetőek el:

https://m2.mtmt.hu/gui2/?type=institutes&mode=browse&sel=21864

A laboratórium munkatársai:

Volk János – Laboratórium vezető

Baji Zsófia

Battistig Gábor

Bozorádi János Márk

Csukás Tamás

Ferencz János

Illés Levente

Lukács István Endre

Molnár György

Nagy Attila

Pósa László

Radó János

Sütő Máté

Szappanos Miklós

Tunyogi Erika

Zolnai Zsolt